新世纪国内外多晶硅的新发展

来源 :中国金属通报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：troy003

【摘要】

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本文综述了国内外半导体级多晶硅的研究、生产、供需和市场的状况,并针对目前国内有些地方在积极筹备建设多晶硅的生产厂,特提出一些建议。

【作者】

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【机构】

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峨眉半导体材料研究所

【出处】

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中国金属通报

【发表日期】

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2004年26期

【关键词】

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本文综述了国内外半导体级多晶硅的研究、生产、供需和市场的状况,并针对目前国内有些地方在积极筹备建设多晶硅的生产厂,特提出一些建议。

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