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通过对现有三坐标测量机的各种平衡系统的优缺点分析之后，该文论述了精密空气静压导轨组件的气动平衡系统以及平衡系统的结构和原理；对气动平衡系统中选用的气缸的静态分析和动态分析进行了推理论证，并对该次设计的精密空气静压导轨组件的工作台进行了实验。根据得出的实验数据来验证推理论证的正确性，并得出该气缸的气动压力与其摩擦力的关系。