【摘 要】
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随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展。综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势
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随着计算机技术和微机电系统发展的需要,微加工刻蚀工艺的计算机模拟得到了飞速发展。综述了微加工刻蚀工艺的研究现状以及几种典型的工艺刻蚀仿真方法,分析了各种方法的优势和不足;重点介绍了在基于各向异性刻蚀方面应用广泛的元胞自动机法(CA),分析其优势所在,并阐述了CA模型的基本原理、发展变化和研究应用。
With the development of computer technology and MEMS, the computer simulation of micromachining process has been developing rapidly. In this paper, the research status of micro-machining etching process and some typical simulation methods for process etching are reviewed. The advantages and disadvantages of various methods are analyzed. The cellular automaton method based on anisotropic etching (CA), analyzes its advantages, and expounds the basic principle, development and application of CA model.
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