【摘 要】
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通过740~820℃之间进行低温成相,分别在氩气和空气中LaAlO3(LAO)单晶基底上沉积得到了有较大应用前景的涂层导体SmBiO3(SBO)缓冲层.740~800℃所得的缓冲层c轴取向良好,致密、
【机 构】
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材料先进技术教育部重点实验室磁浮技术与磁浮列车教育部重点实验室西南交通大学超导研究开发中心,
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通过740~820℃之间进行低温成相,分别在氩气和空气中LaAlO3(LAO)单晶基底上沉积得到了有较大应用前景的涂层导体SmBiO3(SBO)缓冲层.740~800℃所得的缓冲层c轴取向良好,致密、平整、无裂纹.当温度达到820℃时,SBO表面开始出现裂缝.SBO薄膜的相组成和微结构利用XRD和SEM进行分析.研究结果表明,在Ar气氛中和空气中适宜于SBO薄膜生长的最佳温度都在770~800℃附近,在此条件下可以制备出表面平整致密SBO薄膜.
SmBiO3 (SBO) buffer layer with larger application prospects was obtained by depositing on LaAlO3 (LAO) single crystal substrate in argon and air at low temperature from 740 ℃ to 820 ℃, respectively. The obtained c-axis orientation of the buffer layer is good, compact, flat and crack-free.When the temperature reaches 820 ℃, the surface of SBO begins to crack.The phase composition and microstructure of SBO thin films are analyzed by XRD and SEM.The results show that in the Ar In the atmosphere and in the air suitable for SBO thin film growth at temperatures in the vicinity of 770 ~ 800 ℃, under these conditions can be prepared surface smooth compact SBO film.
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