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来源 :光电子.激光 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
采用射频磁控溅射法,在石英衬底上制备了Zn1-xMgxO(x=0.00~0.16)薄膜。利用X射线衍射(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计和光致发光(PL)光谱等分析了薄膜的结构
【作 者】
:
黄秋柳
方亮
郭北斗
阮海波
吴芳
孔春阳
【机 构】
:
重庆大学应用物理系,重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室,重庆师范大学应用物理系,
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
2010年07期
【关键词】
:
光学性能
射频磁控溅射
ZnMgO
薄膜结构
石英衬底
紫外发光
ZnO
发光带
纤锌矿结构
晶体结构
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