【摘 要】
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在一台快放电泵浦的ＡｒＦ准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件，用组合输出镜获得了线宽小于０．１ｎｍ，调谐范围～１ｎｍ的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级，注入后放
【机 构】
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天津大学精密仪器与光电工程学院激光与光电子研究所
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在一台快放电泵浦的ＡｒＦ准分子激光振荡放大系统的振荡级上采用光栅、扩束镜、光阑等腔内元件，用组合输出镜获得了线宽小于０．１ｎｍ，调谐范围～１ｎｍ的激光输出。注入到非稳腔结构的放大级，注入后放大级效率提高了约５０％，获得了平均３０ｍＪ／脉冲的高光束质量的窄线宽可调谐激光，最大单脉冲能量＞５０ｍＪ，并进行了氧气的吸收光谱实验。
In a fast discharge pump ArF excimer laser oscillation amplification system using grating, beam expander, aperture and other components within the cavity, with a combination of output linewidth of less than 0.1nm, tuning range ~ 1nm Laser output. Injected into the amplification stage of the unstable cavity structure. After the injection, the amplifier stage efficiency is improved by about 50%. The narrow linewidth tunable laser beam with the high beam quality of average 30mJ / pulse is obtained, the maximum single pulse energy is> 50mJ, Absorption spectrum experiment.
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