多重图像

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在集成电路制造工艺中,为了提高效率,常将具有多数个同样图形的芯片制作在一个片子上。使二次缩小工艺时制作的图形缩小像(芯片像)在平行移动台上移动,陆续曝光,用这样的方法(步进重复法)制作主掩模。因为到一块集成电路制作完毕要在一枚片子上光 In the integrated circuit manufacturing process, in order to improve efficiency, often with the same number of the same chip graphics produced in a film. So that the process of reducing the size of the image produced during the reduction (chip image) moving parallel to the mobile station, one after another exposure, using this method (step repeat method) to create the main mask. Because to an integrated circuit produced to finish in a film glazing
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