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【摘 要】
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采用定位的横断面透射电子显微术观察了P+Si065Ge035/pSi异质结内光发射红外探测器的微结构.该器件光敏区由6层p+Si065Ge035和5层UDSi层组成,每层都比较平整,各层厚度分别为6
【机 构】
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【出 处】
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电子学报
【发表日期】
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1999年11期
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