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采用射频磁控溅射法在载玻片上制备了不同择优取向的ZnO薄膜。结果表明，溅射功率在100～380W范围内制备的ZnO薄膜呈（101）择优取向性，当功率上升至550W时，薄膜则为（100）取向；基片温度升高有利于（002）面的生长，当基片温度为250℃时，在溅射功率为200W时即可制得（002）面择优取向的薄膜。热处理温度的提高有助于（100）和（101）面的择优取向，而对（002）面的取向不利。同时，该文对ZnO薄膜不同择优取向生长的机制进行了探讨。