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来源 :光电子·激光 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【摘 要】
:
本文采用两步Ag/Cu双原子金属辅助化学腐蚀(MACE)法,在25℃和50℃单晶硅表面制备纳米陷光结构.实验探讨了刻蚀时间和Ag/Cu原子的摩尔比对制备的黑硅表面结构形貌和反射率的影
【作 者】
:
黄燕华
张子启
陈松岩
张小英
【机 构】
:
集美大学诚毅学院,福建厦门361021;厦门大学物理系半导体光电材料及其高效转换器件协同创新中心,福建厦门361005;厦门理工学院光电与通信工程学院,福建省光电技术与器件重点实验室,福建厦门3610
【出 处】
:
光电子·激光
【发表日期】
:
2020年9期
【关键词】
:
金属辅助化学腐蚀
银铜催化
黑硅
纳米结构
表面减反
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