【摘 要】
：
根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主
【机 构】
：
中国科学院大学材料科学与光电技术学院; 河北省科学院激光所;
【基金项目】
：
国家自然基金50128790;中科院百人计划;科学院装备计划项目yz201356;北京市科技计划课题Z151100003315024;河北省科技计划项目14291110D资助~~
论文部分内容阅读
根据磁控溅射金属铜膜在超声清洗中从硅基底上发生剥落的现象,分析了样品在声场中的运动和受力状态,发现样品会发生受迫振动,拉-拉周期应力引起膜基界面的失效是薄膜脱落的主要原因,而空化作用是次要原因。通过建立的力学模型,计算了膜基结合强度。与划痕法等所测得的膜基结合强度值的比较,计算值与测量值在数量级和与溅射参数变化趋势上有很好的吻合。此评价方法可以应用于溅射铜膜/多晶金刚石的膜基体系上,并研究了超声参数、基底表面形貌、基底成份等因素对膜基结合强度的影响。
其他文献
<正> 一、既要改良又要革命 杨:现在中关村科技的名字炒得很热,看了一些资料,才知道中关村科技公司中做的最大的板块却是中关村建设(即北京中关村开发建设股份有限公司),公司
目的建立测定双黄凝胶中盐酸小檗碱含量的高效液相色谱法。方法采用十八烷基硅烷键合硅胶柱Kromasil C18(250 mm×4.6 mm,5μm);以乙腈-0.05 mol/L磷酸二氢钾溶液(50∶50)为
ｎＳｏｆｔ是一个“由工程师为工程师设计”的工程疲劳分析系统，它的功能覆盖了工程抗疲劳设计分析的３个主要领域，即数据采集、疲劳分析以及实验室模拟，并将它们紧密地结合在一起，见图１。ｎＳｏｆｔ集现
本文通过文献资料法和专家访谈法,对过去的跆拳道电子护具存在的问题进行分析,从而提出设计新护具时应注意的几个问题。
生物量和生产力是生态系统的重要功能指标,其与森林碳汇功能紧密结合起来,成为了新的研究热点。本研究沿大兴安岭走向从北向南选取8个样点(莫尔道嘎、根河、绰尔、查巴奇、五
随着高端酒店业绩下降以及经济型酒店利润摊薄，不少酒店集团都纷纷涉足中档酒店品牌抢占市场。例如，喜达屋集团今年在苏州就开设了首家主打智能科技的中高档酒店品牌源宿；再如经
本文通过对大众参与互联网医疗健康服务的现状调查和互联网医疗健康服务平台医学信息集成技术、搜索策略的系统分析,从大众就医习惯、网络择医搜索倾向以及互联网医疗健康服
目的：探讨单侧上颌窦混浊的病因与治疗方法。方法：回顾性分析以慢性鼻窦炎症状为主诉的56例患者,CT证实为单侧上颌窦混浊,所有患者术前及术后6个月进行生存质量、鼻内镜检查和
目的探讨翼状胬肉患者角膜缘重建术前后色素上皮衍生因子(PEDF)及血管内皮生长因子(VEGF)水平变化和临床意义。方法选取我院收治的翼状胬肉患者92例,随机分为观察组和对照组