【摘 要】
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简述直线位移传感器自动测试与半自动修刻机的研发背景、目标。叙述了该设备主要研发内容，硬件精度、系统精度、工作原理及计算机软件程序控制。作为一种科学技术仪器设备，工作
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简述直线位移传感器自动测试与半自动修刻机的研发背景、目标。叙述了该设备主要研发内容，硬件精度、系统精度、工作原理及计算机软件程序控制。作为一种科学技术仪器设备，工作行程600mm，具有高精度与自动控制功能．系统精度高于0．02％，重复定位精度0．01mm，电脑控制自动输出，液晶数字显示线性精度阻值大小和线性特征曲线，接口打印，功能齐全；升级替代了人工计算操作较差的普通生产设备。
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