【摘 要】
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长春光机与物理所通过了新型微腔碟型（微碟）激光器的技术鉴定。该所通过光刻方法实现了微碟激光器件图形转移；利用湿法及干法刻蚀技术研制出微腔碟型结构；在光泵浦量子阱材料的设
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长春光机与物理所通过了新型微腔碟型（微碟）激光器的技术鉴定。该所通过光刻方法实现了微碟激光器件图形转移；利用湿法及干法刻蚀技术研制出微腔碟型结构；在光泵浦量子阱材料的设计与生长、器件的特性研究方面都有独到之处。该成果国内领先，部分技术指标达到国际先进水平?
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