【摘 要】
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基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利用柔性杠杆原理设计了具有位移放大结构的阵
【机 构】
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西安明德理工学院信息工程学院,西安710124
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基于V型电热执行器执行力大、输出位移小的特点,设计了单个V型电热执行器,对其温度分布和位移进行理论计算及ANSYS有限元分析,并利用柔性杠杆原理设计了具有位移放大结构的阵列式V型电热执行器,采用微电子机械系统(MEMS)工艺在绝缘体上硅(SOI)片上完成V型电热执行器的制备,并搭建静态性能测试和动态性能测试平台.测试结果表明,在17 V驱动电压的激励下将阵列式V型电热执行器的位移从约12.6 μm放大到178.089 μm,15 ms内达到稳定的工作状态,具有位移幅度大、响应时间短的特点.
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