镁合金表面非平衡磁控溅射CrN镀层结合性能和摩擦磨损性能

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采用不同偏压闭合场非平衡磁控溅射技术在镁合金表面沉积Cr-N镀层,分别对镀层的组织结构、厚度、结合性能和摩擦磨损性能进行了表征和分析.结果表明,镀层主要由Cr(N)相和少量Cr2N相组成.在偏压为60 V时镀层具有较高的硬度、良好的结合性能和摩擦磨损性能.偏压进一步升高,虽然镀层硬度有所提高,但结合性能和抗磨性能均下降.
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