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【摘 要】
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Fe ions in the fluence range of 2 × 1015 to 1×1017 cm -2 were implanted into diamond-like carbon (DLC) thin film of 100 nm thick, which were deposited on sili
【机 构】
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Shanghai University of Engineering Science,Center for Functional Nanomaterials and Devices
【出 处】
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核技术
【发表日期】
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2004年期
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