【摘 要】
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北京有色金属研究总院研究开发的我国首套蒸汽压控制直拉法 (ＶＣｚ法 )晶体生长系统和工艺技术 ,7月末该九五国家重点攻关项目通过国家验收 ,成功拉制出国内第一根4英寸ＶＣｚ半导体砷
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北京有色金属研究总院研究开发的我国首套蒸汽压控制直拉法 (ＶＣｚ法 )晶体生长系统和工艺技术 ,7月末该九五国家重点攻关项目通过国家验收 ,成功拉制出国内第一根4英寸ＶＣｚ半导体砷化镓单晶 ,可适应超高频、超高速集成电路高品质、高技术的要求 ,成为继日本、德国之后第
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