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甘肃省化工研究院的赵坤等人以乙烯基三氯硅烷和三氟乙醇为原料、二氯甲烷为溶剂，合成了乙烯基三（2，2，2三氟）乙氧基硅烷。最佳合成条件为：乙烯基三氯硅烷和三氟乙醇的量之比为1∶3.8、二氯甲烷用量为40 mL、 Ar2流量为70 mL／min、三氟乙醇滴加速度1 mL／min、反应温度30℃、反应时间5 h，在此条件下，产品收率达83.6％。