【摘 要】
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针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台。利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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针对狭缝式涂布在大面积涂布领域的应用需求,设计了用于平板显示光阻涂布的精密工作台。利用有限元仿真软件ANSYS Workbench对工作台的龙门滑台组件进行了静力学分析,同时对工作台的运动部件进行了动力学模态分析,结果表明所设计工作台具备足够极高的静态刚度和动态响应能力,能够满足大面积狭缝式涂布要求。
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