【摘 要】
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本文介绍了InSb薄膜制备工艺技术的研究成果,系统地阐述了InSb薄膜的工艺机理与制备技术,指出了制备InSb薄膜过程中所需解决的技术关键,并总结了制备InSb薄膜的工艺条件和实
【机 构】
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本文介绍了InSb薄膜制备工艺技术的研究成果,系统地阐述了InSb薄膜的工艺机理与制备技术,指出了制备InSb薄膜过程中所需解决的技术关键,并总结了制备InSb薄膜的工艺条件和实验结果.
This paper introduces the research results of InSb thin film fabrication technology, systematically describes the process and preparation technology of InSb thin film, points out the key technology needed in the process of preparing InSb thin film, and summarizes the process conditions and experiments result.
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