【摘 要】
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介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢（ＣＨ７５）表面沉积（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的制备工艺，讨论了工艺参数对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜性能的影响。对Ｔｉ／Ａｌ机械复合靶进行了结构设计，得出靶的名义Ａｌ含量与沉积的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的Ａｌ含量相符
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介绍了采用多弧离子镀的方法在新型热作模具钢（ＣＨ７５）表面沉积（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的制备工艺，讨论了工艺参数对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜性能的影响。对Ｔｉ／Ａｌ机械复合靶进行了结构设计，得出靶的名义Ａｌ含量与沉积的（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的Ａｌ含量相符合。
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