【摘 要】
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本文阐述了两种不同的硅烷(SiH4)储存工艺,介绍了这两种工艺的配套设备及储存参数,对比了两套方案在储存工艺以及设备等方面的差异,并在安全、能耗、成本等方面进行了讨论。
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本文阐述了两种不同的硅烷(SiH4)储存工艺,介绍了这两种工艺的配套设备及储存参数,对比了两套方案在储存工艺以及设备等方面的差异,并在安全、能耗、成本等方面进行了讨论。
This article describes two different silane (SiH4) storage process, describes the supporting equipment and storage parameters of these two processes, compares the two sets of programs in the storage process and equipment differences, and in safety, energy consumption, cost And other aspects of the discussion.
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