纳米硅镶嵌氮化硅薄膜的制备与光致发光特性

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:DisSmile
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
为研究氮化硅薄膜发光材料的制备工艺及其光致发光机制,实验采用射频磁控反应溅射技术与热退火处理制备了纳米硅镶嵌氮化硅薄膜材料。利用红外光谱(IR)、X射线衍射谱(XRD)、能谱(EDS)和光致发光谱(PL),对不同工艺条件下薄膜样品的成分、结构和发光特性进行研究,发现在制备的富硅氮化硅薄膜材料中形成了纳米硅颗粒,并计算出其平均尺寸。在510nm光激发下,观察到纳米硅发光峰,对样品发光机制进行了讨论,认为其较强的发光起因于缺陷态和纳米硅发光。
其他文献
摘要:实训报告是高职学生对实训操作效果的总结与汇报,其撰写过程是培养学生职业能力的重要途径之一。经过三年多的实践与探索,逐步在报告的内容格式及撰写要求上进行创新,突破传统的目的、原理、材料等“八股”方式,突出培养学生的分析问题、解决问题能力,拓展学生创新思维内容,实践成效显著,反映良好。  关键词:高职教育;实验实训;实训报告;创新模式    实训操作是理论联系实际的重要环节,是衡量实训效果的重要
以大庆职业学院图书馆为例,阐述了高职院校图书馆在职业教育中的地位与作用,分析了职业院校图书馆的现状及存在主要问题,提出了加强职业院校图书馆建设的若干对策。
摘要:结合现代高校档案馆的功能,探讨了信息时代高校档案馆服务功能的实现条件和实现策略,提升高校档案工作的可持续发展动力,以期为高校管理现代化做出贡献。  关键词:高校;档案馆;服务功能;实现    进入21世纪,信息技术迅猛发展,高校档案信息管理不断创新,档案馆正以全新视角和宽泛的服务功能伫立于高校。彰显高校特色、追求卓越信息服务已成为现代高校档案馆建设的重要内容,正在为高校档案事业的可持续发展提
摘要:我国餐饮行业发展迅猛,中职烹饪教育事业却步履蹒跚,存在诸多问题,如教学内容陈旧、社会认可度不高、重技术、轻文化等。应转变职教观念,使培养具备良好职业素养和终身学习能力的劳动者成为今后中职烹饪教育的培养目标。  关键词:中职;烹饪;教育;素质    在我国改革开放30多年中,餐饮业是起步最早、开拓发展最快、收效最明显、市场化程度最高的行业之一。作为餐饮业发展的核心软件——烹饪人才的需求将会不断
摘要:基于行动导向的教学改革,探索将新闻资源有机地应用到营养指导课程教学中,以凸显学习的实践性和应用性。文中以课例方式阐述了导入环节的引导式学习、新课环节的探究式学习、巩固环节的拓展式学习等应用方式,并总结了新闻资源深度应用所取得的良好效果。  关键词:营养指导;行动导向教学;新闻资源;深度应用  营养指导是上海工商信息学校面向旅游服务类专业、烹饪专业以及相关专业学生的一门选修课程。传统教学方式具
摘要:基于工作过程导向的课程开发与实施的宏观和微观研究,目前已成为职业教育研究的热点。文章主要对本校课程的建设与开发进行了分析:一是基于工作过程的系统化课程特点;二是如何结合专业特色进行基于工作过程的课程开发。  关键词:高职教育;基于工作过程;专业特色;课程开发    高等职业教育目标是培养高技能人才,为适应这一要求,高职教育教学要随着社会的进步、科技的发展不断改革教学内容、教学方法与手段。以突