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【摘 要】
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实漏、虚漏、出气和渗透等气体源引起封离真空杜瓦腔体压力升高,活性气体H2、H2O、CO占的份额较大,H2的份额可达80％以上,NEG抽出活性气体获得和维持红外焦平面探测器杜瓦组件
【机 构】
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昆明物理研究所,云南 昆明,650223;中国科学院大学,北京,100049
【出 处】
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红外与激光工程
【发表日期】
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2018年10期
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