【摘 要】
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日本微电技术研究所研制成功一种微波等离子氮化设备,其原理如图所示。将微波发生器(磁控管)所产生的2450兆赫的微波,经过波导管,再通过发射天线,将微波能量透过石英管辐射
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日本微电技术研究所研制成功一种微波等离子氮化设备,其原理如图所示。将微波发生器(磁控管)所产生的2450兆赫的微波,经过波导管,再通过发射天线,将微波能量透过石英管辐射到装有零件的密封容器内,使等离子体中的活化氮原子
Japan Microelectronics Institute successfully developed a microwave plasma nitriding equipment, the principle shown in Figure. The 2450 MHz microwave generated by the microwave generator (magnetron) is passed through the waveguide and then through the transmitting antenna, and the microwave energy is radiated through the quartz tube into the sealed container with the part so that the activated nitrogen atom
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