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因铝及其合金在集成电路互连中的广泛应用,为了提高集成电路器件的电迁移性能,人们进行了一系列的研究。铝合金化被认 为是改善铝电迁移的有效途径,如在纯铝中加入铜、镍、铬或镁等,其中,添加铜的效果最好且负效应最小。
铝铜合金对芯片电极可靠性的影响
【摘 要】
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因铝及其合金在集成电路互连中的广泛应用,为了提高集成电路器件的电迁移性能,人们进行了一系列的研究。铝合金化被认 为是改善铝电迁移的有效途径,如在纯铝中加入铜、镍、铬
【机 构】
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飞思卡尔半导体（中国）有限公司
【出 处】
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电脑乐园·信息化教学
【发表日期】
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2019年9期
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