【摘 要】
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3.14计量在2008年,计量技术工作组专注于对光刻计量和前端工艺计量技术需求的更新。新的光刻工艺,例如二次图形生成、隔离层二次图形生成(spacer double patterning),以及二
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3.14计量在2008年,计量技术工作组专注于对光刻计量和前端工艺计量技术需求的更新。新的光刻工艺,例如二次图形生成、隔离层二次图形生成(spacer double patterning),以及二次曝光,都给计量带来了相当困难的挑战。计量技术工作组和光刻技术工作
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