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【摘 要】
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研究了铜化学机械抛光(CMP)过程中,不同压力和非离子型表面活性剂对片内非均匀性(WIWNU)的影响。通过改变抛光压力大小和非离子型表面活性剂浓度,得出WIWNU的变化规律。实验
【机 构】
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河北工业大学电子信息工程学院,河北工业大学天津市电子材料与器件重点实验室,
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2017年02期
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