微型离子泵抽速测量方法的探讨

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【摘要】

：

探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序。并给出了抽速测量不确定度的简化评估。 The apparatus and program for measuring the pumping speed of miniature ion p

【作者】

：

冯葵

【机构】

：

华越微电子有限公司浙江　绍兴　312000

【出处】

：

真空

【发表日期】

：

2004年01期

【关键词】

：

抽速测量离子泵定容法

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探讨了用定容法测量微型离子泵抽速的装置及程序。并给出了抽速测量不确定度的简化评估。 The apparatus and program for measuring the pumping speed of miniature ion pump by constant volume method are discussed. A simplified evaluation of the uncertainty of pumping speed measurement is given.

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