【摘 要】
：
分析了引起大面阵内线转移CCD直流短路的原因,确认了二次金属铝刻蚀残留是引起器件失效的主要原因。利用扫描电子显微镜技术,研究了刻蚀工艺参数对内线转移CCD二次金属铝刻蚀
论文部分内容阅读
分析了引起大面阵内线转移CCD直流短路的原因,确认了二次金属铝刻蚀残留是引起器件失效的主要原因。利用扫描电子显微镜技术,研究了刻蚀工艺参数对内线转移CCD二次金属铝刻蚀残留的影响。优化了预刻蚀、主刻蚀和过刻蚀三个阶段的工艺条件,消除了金属铝刻蚀残留。采用优化的工艺参数进行二次金属铝刻蚀,器件直流成品率提高了30%。
The cause of DC short-circuit caused by line transfer in large area array is analyzed, and it is confirmed that the secondary metal aluminum etching residue is the main reason causing the device failure. Using scanning electron microscopy, the influence of etching process parameters on the etching residue of the secondary metal aluminum in the transfer CCD was studied. Optimized pre-etching, the main etching and over etching three stages of the process conditions, eliminating the metal aluminum etching residue. Using the optimized process parameters for secondary metal aluminum etching, the device DC yield increased by 30%.
其他文献
（一）中国水力发电工程学会混凝土面板堆石坝专业委员会、中国水利学会混凝土面板堆石坝专业委员会、湖北省水利学会、兴山县天星水电集团和葛洲坝集团施工科研所，于１９９８年１０月１８日到２１日在
运用新奥法理论，对江垭地下水电站主厂房洞室在施工过程中的围岩稳定性进行了计算；并结合原始的变形观测值作了进一步分析验证．介绍了对不稳定块体的工程处理措施．指出在工程实践
THE Left Bank Gallery in the Zhongguancun area of Beijing’s Haidian District unveiled “The Left-Wing” in late December 2003. The gallery housed the exhibit
１８世纪的工业革命到现在仅仅２００多年，人类社会的发展却超过了几千年的农业文明时代。尤其是进入２０世纪以来，科技迅猛发展，经济高速增长，人类改造自然界的能力空前增强：探索太空、开发极地
Ｔｈｉｓｂｉｂｌｉｏｇｒａｐｈｙｏｎｐｉｅｒｓｃｏｕｒｉｎｇｃｏｖｅｒｓａｐｅｒｉｏｄｆｒｏｍ１８７３ｔｏ１９９６ｉｎｃｌｕｄｉｎｇｏｖｅｒ３００ｒｅｆｅｒｅｎｃｅｓ．Ａｌｔｈｏｕｇｈｔｈｅｅｍｐｈａｓｉｓｉｎｔｈｉｓｂｉｂｌｉｏｇｒａｐｈｙｉｓｏｎｐｉｅｒｓｃｏｕｒｉｎｇａｓｓｏｃｉａｔｅｄｗｉｔｈｍｅｃｈａｎｉｓｍｏｆｓｃｏｕｒ，ｐａｒａｍｅｔｅｒｓａｆｆｅｃｔｉｎｇｓｃｏｕｒ，ｔｉｍｅｄｅｐｅｎｄｅｎｔｓｃｏｕｒ，ｄｅｓｉｇｎｆｏｒｍｕｌａｓ，ｍｏｄｅｌｉｎｇａｎｄｐｒｏｔｅｃｔｉｏｎｗｏｒｋｓ；
老崔笑了,他在笑什么?是18岁的得意之作?是李苦禅的勉励之词?是功成名就的辉煌今天?“都不是。老崔的全部心思都在画画上。”老崔的知音、北京静清苑艺术发展有限公司总经理
现年48岁的马云阁家住河南新野县,如今,他独自在湖北武当山养猴已经整整5个年头了。今年是猴年,而他的属相也是猴。猴年里属猴的养猴!日前,笔者两次赴武当山逍遥谷,了解到这
作为中共中央第一代领导集体的重要成员和第二代领导集体的核心的邓小平,始终给予福建以极大的关注。无论是二战时期的闽西革命根据地。还是解放后的对台海防前线,再到改革开
新疆军区某边防团宣传干事吕政保,近日被批准加入新疆维吾尔自治区作家协会。这是该团第一个加入自治区作家协会的现役军人和新闻报道员。 吕政保1995年应征入伍后,根据自己
引子:肃省是恶性肿瘤高发区,其发病率、死亡率近年来呈增长趋势,癌症已成为城乡居民的主要死亡原因,严重危及人民群众的工作和生活。据上世纪70年代和90年代两次对全省进行的