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DCS控制系统在多晶硅合成装置中的设计及应用
DCS控制系统在多晶硅合成装置中的设计及应用
来源 :石河子科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ccj5310110
【摘 要】
:
简述了氯化氢合成的工艺流程。介绍了DCS系统的硬件和软件情况、CS3000的特点、DCS在氯化氢合成和输送控制系统的设计、应用、实施效果。
【作 者】
:
周龙
佟志强
【机 构】
:
特变电工新疆硅业有限公司
【出 处】
:
石河子科技
【发表日期】
:
2012年4期
【关键词】
:
DCS技术
氯化氢合成和输送
控制
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简述了氯化氢合成的工艺流程。介绍了DCS系统的硬件和软件情况、CS3000的特点、DCS在氯化氢合成和输送控制系统的设计、应用、实施效果。
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