三重扩散片平面功率管工艺探讨

来源 :半导体技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:JeanieDana
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本文主要介绍了我厂近几年来,在浙大师生的设计帮助下,试制成功了采用三重扩散片做成的平面高反压功率器件.并在84年12月通过鉴定,已定型生产.文章重点围绕这类功率管的击穿电压、放大系数、饱和压降等几个指标进行了工艺探讨,并提出一些行之有效的办法和措施. This article mainly introduced our factory in recent years, with the help of teachers and students of ZheJiang University, the trial manufacture succeeded in using the triple diffuser to make the plane high backpressure power device, and passed the appraisal in December, 84, it has been stereotyped to produce. Focus on such power tube breakdown voltage, amplification factor, saturation pressure drop and several other indicators of the process of technology, and put forward some effective measures and measures.
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