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VHF-PECVD法氢化微晶硅薄膜的低温制备
VHF-PECVD法氢化微晶硅薄膜的低温制备
来源 :城市道桥与防洪 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zj280078064
【摘 要】
:
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥
【作 者】
:
杨恢东
吴春亚
麦耀华
李洪波
薛俊明
李岩
任慧智
张丽珠
耿新华
熊绍珍
【机 构】
:
南开大学光电研究所,天津,300071五邑大学薄膜与纳米材料研究所,江门,529020;南开大学光电研究所,天津,300071;天津机电工业学校,天津,300071;
【出 处】
:
城市道桥与防洪
【发表日期】
:
2002年9期
【关键词】
:
微晶硅薄膜
甚高频等离子体增强化学气相沉积
沉积速率
结晶度
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该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生、测量监控等方面人手,介绍了S226海滨大桥主桥连续预应力混凝土变截面箱梁2#~7#块、8#、8
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