人造钻石的阴极溅射

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在工业生产中制造单颗粒钻石比较方便,例如,用很强的压力(50000大气压)和很高的温度(1200℃)对石墨进行压制。但一般方法不能制得钻石层。阴极溅射法使简易制造钻石薄层成为可能。这种方法是采用氮离子爆炸存放在真空内的石墨的二个阴极,惰性气体的压力为10~(-7)~10~(-4)torr。基质必须冷却到液体氮的 It is convenient to manufacture single-grain diamonds in industrial production, for example, graphite is pressed with very high pressure (50,000 atmospheres) and very high temperature (1200 ° C). However, the general method can not be obtained diamond layer. Cathode sputtering makes it easy to make thin diamond layers. In this method, two cathodes of graphite stored in a vacuum are exploded by nitrogen ion bombardment, and the pressure of the inert gas is 10 -7 to 10 -4 Torr. The substrate must be cooled to liquid nitrogen
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