用激光刻蚀法在金刚石膜表面形成减反射微结构

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引言  金刚石具有一系列独特的性质 :宽光谱区透明、硬度、耐磨性、化学惰性和高激光损伤阈值。由于气相沉积多晶金刚石膜工业工艺的发展 ,它有了广泛应用 ,其中包括作为制造光学元件的材料[1 ] 。金刚石有较高的折射率 ,由于反射损耗 ,金刚石板在 10 .6 μm波长的透射率不大 INTRODUCTION Diamond has a unique set of properties: transparency, hardness, wear resistance, chemical inertness and high laser damage threshold over a broad spectrum of wavelengths. Due to the development of industrial processes for the vapor deposition of polycrystalline diamond films, it has been widely used, including as a material for manufacturing optical elements [1]. Diamond has a higher refractive index, due to the reflection loss, the transmittance of the diamond plate at a wavelength of 10.6 μm is not large
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