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针对三坐标测量机在X方向出现的立柱移动不均匀的故障,进行过故障分析并检修.通过对机床原理分析,发现故障是由于机床所用的压缩空气不干净造成气浮垫与导轨间的气隙不够,从而导致三坐标测量机在X方向出现的电动机转速不均匀故障的.通过单独接入独立的油水分离器和空气过滤器、将压缩空气进行三级过滤、除掉空气中的水分、油分和粉尘等杂质以及不锈钢管路将空气送至机床等方法,排除了三坐标测量机电动机转速不均匀故障.