论文部分内容阅读
化学法制备SrTiO3薄膜成本低、效率高,适合用于YBa2Cu3O7-δ(YBCO)涂层导体的缓冲层。采用全化学溶液沉积法在Ni-5W金属基带上外延生长了SrTiO3(STO)缓冲层薄膜。以乙酸盐、钛酸丁酯为原料配制均匀稳定的STO种子层、LaxSr1-xTiO3种子层和STO缓冲层前驱溶液。研究了STO种子层薄膜厚度对在STO/Ni-5W(200)上沉积STO外延薄膜性能的影响,结果表明,在880℃烧结温度下制备的3层STO种子层上可以制备出表面光滑平整、具有(200)择优取向的STO缓冲层。尝试将La