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【摘 要】
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硅微谐振式加速度计的输出信号是由谐振频率反映的,谐振频率的特性决定了仪表的精度。但加速度计的谐振频率具有温敏特性,当温度变化时,便会产生测量误差。为了减小这一影响,
【机 构】
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东南大学仪器科学与工程学院,东南大学微惯性仪表与先进导航技术教育部重点实验室
【出 处】
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传感器与微系统
【发表日期】
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2021年5期
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