【摘 要】
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为确保光学调制传递函数(MTF)测试系统的精度,从针孔法MTF测试原理出发,对系统中各组件的固有误差、光电系统离焦、噪声等因素对调制传递函数测量精度的影响大小进行了计算及比较。结果表明光源的波长、显微物镜的放大倍数误差、光电系统离焦和噪声对系统的MTF测量精度都存在较大影响,需要严格加以控制。针孔尺寸和平行光管的焦距误差对测量结果的影响随针孔像尺寸变大迅速增大,应保证针孔像尺寸小于5μm。而CCD
【机 构】
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中国科学院光电技术研究所,成都610209四川大学电子信息学院,成都610065;中国科学院光电技术研究所,成都,610209;四川大学电子信息学院,成都,610065;
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为确保光学调制传递函数(MTF)测试系统的精度,从针孔法MTF测试原理出发,对系统中各组件的固有误差、光电系统离焦、噪声等因素对调制传递函数测量精度的影响大小进行了计算及比较。结果表明光源的波长、显微物镜的放大倍数误差、光电系统离焦和噪声对系统的MTF测量精度都存在较大影响,需要严格加以控制。针孔尺寸和平行光管的焦距误差对测量结果的影响随针孔像尺寸变大迅速增大,应保证针孔像尺寸小于5μm。而CCD的像元尺寸误差在其换算到被测镜头像平面处的尺寸小于2μm时对测量精度几乎没有影响。
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