【摘 要】
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本文对P~+NN~+结体内的参数选择和表面耐压特性进行了研究.文中指出:在反向耐压为7～10KV的元件中,W_n/L_p选为5～6.5比较适宜;一旦X_n≥W_n时,必然在NN~+区出现场强峰值.文中还
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本文对P~+NN~+结体内的参数选择和表面耐压特性进行了研究.文中指出:在反向耐压为7～10KV的元件中,W_n/L_p选为5～6.5比较适宜;一旦X_n≥W_n时,必然在NN~+区出现场强峰值.文中还提出了降低表面场强峰值的工艺措施.
In this paper, the parameter selection and surface pressure resistance characteristics of P ~ + NN ~ + junctions were studied. It is pointed out that W_n / L_p is 5 ~ 6.5 in the reverse breakdown voltage of 7 ~ 10kV. When X_n≥W_n, it is inevitable that the peak value of field strength appears in NN ~ + region. The paper also presents the technological measures to reduce the peak value of surface field strength.
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