【摘 要】
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二氧化钒薄膜特殊的相变性能,决定其有着巨大的应用潜能,但其制备始终是一个难点,实验首先利用反应磁控溅射的方法制得高纯度的五氧化二钒薄膜,然后通过后续热处理得到了二氧
【机 构】
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重庆理工大学材料学院,北京科技大学新材料技术研究院,武汉理工大学材料科学与工程学院,重庆理工大学教育部汽车零部件制造及检测技术重点实验室,重庆机电技术学院,
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二氧化钒薄膜特殊的相变性能,决定其有着巨大的应用潜能,但其制备始终是一个难点,实验首先利用反应磁控溅射的方法制得高纯度的五氧化二钒薄膜,然后通过后续热处理得到了二氧化钒,对转化的可能性进行了热力学分析,同时利用XRD对不同温度热处理条件下所获得的薄膜进行了分析。
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