微区XRF是新兴的固体样品表面元素半定量分析技术,由于缺少同类基质标样和仪器参数整体优化方案等问题,使得该技术在定量分析方面的研究较少。本研究利用微区XRF技术对黄铁矿地质标样硫、铁元素进行检测,探讨了真空度、驻留时间、检测器频率、X射线功率等仪器参数对非标定量准确度的影响,结果显示了真空度和X射线功率是影响检测准确度的重要指标,真空条件下,硫、铁元素检测结果与标样理论值的相对误差从非真空时的-52.25%和59.95%减少到0.51%和-0.21%;在20、30、40和50 keV的X射线功率下,硫元素的相对误差分别为-12.65%、-5.70%、-1.22%、0.51%,而铁元素分别为14.79%、6.86%、1.76%、-0.21%。在优化的仪器参数下（检测器频率Tc设置为1μs,驻留时间设置为100 s, X射线功率设置为50 keV,检测环境设置为真空）,对土壤样品GSS-1进行非标定量,发现多数元素平行性良好,3次检测的相对标准偏差在3%以内;由于样品基质复杂,定量准确度较差,相对误差范围在-14.08%到905.98%之间。为优化准确度,采用GSS-2～GSS-10土壤标样建立标准曲线,以标样GSS-1作为样品进行检测分析,结果显示通过线性校准曲线校正,GSS-1样品中多种元素检测值与理论值的相对误差减少到-13.07%到4.72%之间,而通过拟合标准曲线校正,相对误差在-13.64%到14.91%之间,两种标准曲线校正后全部元素的定量结果与理论值相对误差均在±15%之内。本研究结果表明,通过优化微区XRF测试参数,对黄铁矿简单基质样品可直接进行定量;对土壤基质复杂的样品,通过类似的基质标样建立相应标准曲线进行校准,也可获得准确度相对较好的定量结果。