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随着科学技术进步,这些年我国光刻技术迅速发展,广泛应用于集成电路生产中,已经具备相对完善的光刻技术.相应不久的将来光刻技术会有长远发展.有鉴于此,本文中笔者以光刻技术为研究对象,分析其在微电子设备的中应用.希望通过本文论述为行业技术进步贡献一份力量.
光刻技术在微电子设备中的应用分析
【摘 要】
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随着科学技术进步,这些年我国光刻技术迅速发展,广泛应用于集成电路生产中,已经具备相对完善的光刻技术.相应不久的将来光刻技术会有长远发展.有鉴于此,本文中笔者以光刻技术
【机 构】
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大连东软信息学院,辽宁 大连,116032
【出 处】
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科技展望
【发表日期】
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2017年10期
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