【摘 要】
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本文通过简单的数学推导，给出了Ｑ／Ｐ和Ｑ／ΔＰ 两种扩散泵抽速表达式，并从物理意义上解释了它们的区别。在此基础上阐明了动态流量法校准中的有效抽速Ｓ＂（Ｓ＂＝Ｑ／Ｐ－Ｐ０）何以为一常量的理由。文中给出有关
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本文通过简单的数学推导，给出了Ｑ／Ｐ和Ｑ／ΔＰ 两种扩散泵抽速表达式，并从物理意义上解释了它们的区别。在此基础上阐明了动态流量法校准中的有效抽速Ｓ＂（Ｓ＂＝Ｑ／Ｐ－Ｐ０）何以为一常量的理由。文中给出有关实验数据。
In this paper, we give the expressions of pumping speed of Q / P and Q / ΔP diffusion pumps by simple mathematical derivation, and explain their difference from the physical meaning. On this basis, the reason why the effective pumping speed S “(S” = Q / P-P0) in the dynamic flow calibration is a constant is clarified. The paper gives the experimental data.
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