【摘 要】
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简要介绍化学敏场效应管的一般原理,着重介绍用硅烷化反应在二氧化硅表面“嫁接”敏感薄膜的方法和工艺。该方法是制备离子敏场效应管栅极的一种比较理想的新方法。
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简要介绍化学敏场效应管的一般原理,着重介绍用硅烷化反应在二氧化硅表面“嫁接”敏感薄膜的方法和工艺。该方法是制备离子敏场效应管栅极的一种比较理想的新方法。
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