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【摘 要】
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介绍两种结构形式的基于电子隧道效应的纳米级三维轮廓仪。其纵向分辨率可达０．０２ｎｍ，横向分辨率可达０．２ｎｍ，扫描范围分别为４０μｍ×４０μｍ和１４μｍ×１４０μｍ。可直接对φ５０ｍｍ和φ１３０ｍｍ的大尺寸样品表面进行纳米级的超微
【机 构】
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华中理工大学，武汉喻家山华中理工大学机械科学与工程学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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1996年12期
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