离子镀及其应用(2)

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1.离子镀的种类及特点就蒸发材料的汽化方式而言,有电阻加热、电子束加热、高频感应加热、电弧加热蒸发、溅射等方式.就蒸发材料的离化方式而言,有施加电场产生辉光放电的气体电离型,有射频激励的离化型.就对等离子体是否直接利用而言,有等离子体法与离子束法.将这些不同的方式组合, 1. The types and characteristics of ion plating In terms of the vaporization method of evaporation materials, there are resistance heating, electron beam heating, high frequency induction heating, arc heating evaporation, sputtering, etc. In terms of ionization mode of evaporation materials, there are Electric field generated glow discharge gas ionization type, RF excitation of the ionization type.For direct use of the plasma, the plasma method and the ion beam method of these different combinations,
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