光波干涉法检定量具平面性及尺寸应用

来源 :计量与测试技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:pipi783
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平品是目前用来检定汁量器具工作面平面性或平行性的主要量具。本文简要介绍了利用平晶和光波干涉法检定量具平面度和平行性的示值误差的方法。
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