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1设备的结构组成和工作原理、性能指标与技术参数及用途rnTDL-GX31C型硅芯炉是改良西门子法-氢气还原三氯氢硅气相沉积法生产多晶硅的辅助生产设备.是改良西门子法还原炉发热载体-硅芯的控制设备.rn
TDL-GX31C型硅芯炉
【摘 要】
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1设备的结构组成和工作原理、性能指标与技术参数及用途rnTDL-GX31C型硅芯炉是改良西门子法-氢气还原三氯氢硅气相沉积法生产多晶硅的辅助生产设备.是改良西门子法还原炉发热
【出 处】
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电子元器件资讯
【发表日期】
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2009年3期
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