【摘 要】
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精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高
【机 构】
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上海光和光学制造有限公司,上海光和光学制造有限公司,
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精密光学与电子学的迅速发展,尤其是在光学短波 段,对所使用的元件或基板的品质(如材料的各 种缺陷密度,外形尺寸的精度,平面度,平行度,表面 粗糙度,表面硬度等)提出了非常高的要求。特别是表 征基板表面平滑程度的微观表面粗糙度,被要求达到Ra 低于1nm的指标。即我们称之为超光滑表面。
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